光电子与微电子实验室    

实验室简介    

光电子与微电子实验室实用面积80平方米，拥有磁控溅射物理气相沉积仪、等离子增强化学气相沉积仪、高温退火炉、台阶仪、霍尔效应测试仪、曝光机、显影机、QUV加速耐候实验箱等仪器设备，同时还设有光电子与微电子教学综合实验平台和有关软件。

实验室功能    

     实验室主要承担半导体工艺学、半导体集成电路、半导体器件、薄膜技术等课程的实验教学任务以及中高职教师的省级、国家级培训工作同时微电子学专业学生的职业资格认证等工作。